無塵無菌空調工程說明

無塵無菌空調工程

電子工廠無塵室，醫材生技廠房無塵室
食品工廠無塵室，各種類型實驗室工程

Class 10 - 100,000

恆溫恆濕空調系統
無塵室內裝隔間天花板
無塵室高架地板，環氧樹脂塗佈
無塵室設備，空氣過濾設備
靜電接地，儀控工程

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面板Module Class 10,000無塵室

9米高無塵室 Class 10,000

CMOS Module Class 1,000 無塵室

無塵擦拭布清洗烘乾 Class 10 無塵室

晶圓測試 Class 1,000 無塵室

 SMT Class 10,000 無塵室

感應耦合電漿質譜分析儀Class 1,000 無塵室

化學無塵操作台 Class 100

「Clean Room」無塵室，亦名潔淨室或清淨室，目前己是半導體工業和生物化學、醫藥、食品界等不可或缺之重要設施。近幾年來，由於技術之創新發展，對於產品的高精密度化、細小型化之需求更為迫切，如超大型積體電路及極大型積體電路之研究製造，己成為世界各國在科技發展上極為重視之項目，我國亦不例外。然積體電路與微機電精密軸承、太空航空儀器、光學機械等之精密機械產業，對於空氣中之浮游粒子、粉塵之污染極為敏感，且對於產品之品質、可靠性及良率高低有著極大之影響。由於以上之產品必須在良好之無塵室內進行生產製造，故工業用之無塵室在各種產業上己被廣泛採用，另一方面在醫學上及醫療技術方面，對於手術室、新生兒室、重症加護病房、燙傷病房及冠狀動脈加護病房等場所為達成高度醫療效果，亦需有去除空氣中浮游細菌之無菌環境，以維謢人員生命安全，其次在製藥工作、食品製造業及醫療儀器製造業，生化及細菌培養等為提高產品品質及安全衛生，以去除空氣中浮游細菌或微生物與外界異物之干擾侵犯之無菌無塵室亦應運而生。針對積體電路（半導體行業）而言，無塵室最主要之作用在於控制產品（如矽晶片等）所接觸之大氣潔淨度及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、製造，此空間我們稱之為「無塵室」。換言之，無塵室之定義為將一定空間範圍內之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除或控制在一特定範維之內，並將室內之溫濕度、潔淨度、室內壓力、氣流速度與氣流分佈、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求範圍，而所給予特別設計之空間。不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔淨度、溫溼度及壓力等性能之特性。

無塵室工程經過多年的發展，除非常特殊的設計與運用，其一般建構材料及設備都已非常成熟且標準化。建置一個無塵室，如果在設計階段能作完整詳盡的考慮及規劃，配合有效率且確實的施工管理，一個品質良好的無塵室建構完成並非難事，但硬體架構完成只能說完成了一半。配合完整的教育訓練，使作業人員維持良好的作業紀律，再配合確實的使用操作維護保養，才能使無塵室發揮該有的功能。

構成無塵室須具備以下之各項因素：
1.能除去空氣中飄游之微塵粒子。
2.能防止微塵粒子之產生。
3.溫度和溼度之控制。
4.壓力之調節。
5.有害氣體之排除。
6.結構物與隔間之氣密性。
7.靜電之防制。
8.電磁干擾之預防。
9.安全因素之考慮。
10.節能之考量。

亂流式無塵室

亂流式（Turbulent Flow）：

空氣由空調箱經風管與分布於無塵室上方天花板之空氣過濾器（HEPA）進入無塵室，並由無塵室兩側隔間牆板或高架地板回風。氣流非直線型運動而成不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用於無塵室等級1,000～100,000級，其優點是構造簡單、系統建造成本低，無塵室之擴充比較容易，同時在某些特殊用途場所，可併用無塵工作台，而提高無塵室等級。缺點則為因亂流而造成微塵粒子於室內空間飄浮不易排出，易污染製程上之產品，同時若系統停止運轉再啟動，欲達需求之潔淨度，往往須耗時相當長一段時間。

層流式無塵室

層流式（Laminar）：

層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率35%-100％之過濾器進入室內，並由高架地板或兩側隔牆版回風，此型式適用於無塵室等級需求較高之環境使用，一般其無塵室等級為Class1～100。此型式可分為二種：水平層流式及垂直層流式。水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊牆壁之回系統回風，塵埃隨風向排於室外，一般在下流側污染較嚴重，其優點是構造簡單，運轉後短時間內即可變成穩定。缺點則為建造費用比亂流式高，室內空間不易擴充。垂直層流式房間天花板以HEPA過濾器或FFU(Fan Filter Unit)覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔淨度，在製程中或工作人員所產生的塵埃可快速排出室外而不會影響其他工作區域，其優點為管理容易，運轉開始短時間內即可達到穩定狀態，不易為作業狀態或者作業人員所影響；缺點是構造費用亦較高，彈性運用空間較困難，天花板上吊架佔相當大空間，維修更換過濾器較麻煩。

Mini-environment

併裝局部(微環境)無塵室（Mini-environment）

將無塵室等級10,000～100,000之亂流無塵室內之產品製程區的潔淨度等級提高為10～1000級以上，以為生產之用。潔淨工作台（Clean Bench）、潔淨工作棚（Clean Booth）、潔淨風櫃（Clean Hood）即屬此類。潔淨工作棚，為在亂流式之無塵室空間內以防靜電之透明塑膠布圍成一小空間，採用獨立之HEPA或ULPA及空調送風機組而成為一較高級之潔淨空，一般其等級為10～1,000級，高度在2.5米左右，覆蓋面積約10M2以下，四支支柱並加裝活動輪，可為彈性運用。

無塵室等級 Cleanroom Class 209E

美國1992聯邦標準209E規定之粒子上限數（個/ft3）
（以0.5μm粒子為依據）

2001年11月停止使用209E，改用ISO14644

部分企業因習慣仍以209E等級定義無塵室

無塵室等級 Cleanroom Class ISO-14644 

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